Loại đầu ra chân không theo chiều dọc dòng ZP3P có bộ đệm

Loại đầu ra chân không theo chiều dọc dòng ZP3P có bộ đệm là bộ dẫn hướng dòng hạt được thiết kế cho môi trường chân không cao. Chức năng cốt lõi của nó là đạt được sự khai thác hiệu quả và ổn định các chùm hạt dọc. Đồng thời, nó tối ưu hóa động lực truyền hạt thông qua các cấu trúc đệm tích hợp để đáp ứng nhu cầu của các quy trình công nghiệp chính xác.

Đặc điểm kỹ thuật chính
Kiến trúc hút chân không theo chiều dọc
Thiết kế kênh chân không đối xứng theo trục được áp dụng để đảm bảo dòng hạt có hướng dọc theo trục chính của thiết bị, tránh biến dạng trường dòng chảy do chiết ngang và duy trì tính toàn vẹn luồng khí của buồng chân không.

Cơ chế đệm nhúng
Bộ đệm động nhiều giai đoạn tích hợp thực hiện việc điều chỉnh trước dòng hạt năng lượng cao thông qua điều chỉnh độ dốc năng lượng không tiếp xúc, làm giảm sự phân kỳ không gian pha hạt và cung cấp chùm hạt có độ chuẩn trực tốt hơn cho các quá trình xuôi dòng.

Thiết kế tương thích chân không
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10^-5 Pa and above.

Tối ưu hóa động lực truyền
Thiết kế phối hợp của mô-đun đệm và kênh trích xuất thực hiện nén chủ động phổ năng lượng hạt, ngăn chặn hiệu quả tổn thất tán xạ và cải thiện chất lượng chùm tia, đặc biệt phù hợp với các tình huống ứng dụng có yêu cầu nghiêm ngặt về tính đơn sắc.

Khả năng thích ứng của hệ thống công nghiệp
Giao diện mặt bích tiêu chuẩn hỗ trợ tích hợp mô-đun và có thể kết nối liền mạch với các buồng xử lý chân không khác nhau. Thiết kế cấu trúc không nhiễm từ của nó tiếp tục mở rộng khả năng ứng dụng của nó trong môi trường nhạy cảm với từ trường.